À̹ÌÁö Å©°Ôº¸±â 11ÀÏ °æ±â ¿ëÀνà óÀα¸ »ï°¡µ¿ ¿ëÀνÃû»ç Á¢°ß½Ç¿¡¼ ÀÌ»óÀÏ(¿ÞÂÊ) ¿ëÀνÃÀåÀÌ ÃÖÇÑÁ¾ ASMLÄÚ¸®¾Æ ´ëÇ¥¿Í ½Ã³»¿¡ »ç¹«¼Ò ¼³Ä¡ µîÀÇ ³»¿ëÀ» ´ãÀº ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ °æÀï·Â °È¸¦ À§ÇÑ ¾÷¹«Çù¾à(MOU)À» ü°áÇÑ µÚ Çù¾à¼¸¦ µé¾îº¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ¿ëÀνÃû Á¦°ø
¿ëÀÎ=¹Ú¼ºÈÆ ±âÀÚ
¼¼°èÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¾÷üÀÎ ASMLÀÌ °æ±â ¿ëÀνÿ¡ »õ·Î¿î °ÅÁ¡À» Æ°´Ù.
½Ã´Â 11ÀÏ ½Ãû¿¡¼ ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷üÀÎ ASMLÀÇ Çѱ¹¹ýÀÎ ASMLÄÚ¸®¾Æ¿Í °ü³»¿¡ »ç¹«¼Ò ¼³Ä¡ µîÀÇ ³»¿ëÀ» ´ãÀº ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ °æÀï·Â °È¸¦ À§ÇÑ ¾÷¹«Çù¾à(MOU)À» ü°áÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ ÀÚ¸®¿¡¼ ÀÌ»óÀÏ ¿ëÀνÃÀåÀº "¼¼°è ÃÖ°íÀÇ ³ë±¤Àåºñ¸¦ »ý»êÇÏ´Â ASMLÀÇ Çѱ¹¹ýÀÎÀÌ ¿ëÀιݵµÃ¼Å¬·¯½ºÅÍ Çù·ÂÈ ´ÜÁö¿¡ ÀÔÁÖÇÏ°Ô µÊ¿¡ µû¶ó ¿ëÀÎÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ýÅ°è´Â ÇÑÃþ ´õ ÈǸ¢ÇØÁú °ÍÀÌ°í, ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ±â¾÷µéÀÇ °æÀï·Âµµ °ÈµÉ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
À̾î Çù¾à »ó´ë ´ëÇ¥ÀÎ ÃÖÇÑÁ¾ ASMLÄÚ¸®¾Æ ´ëÇ¥¿¡°Ô "°ü³» ´ëÇеé°úµµ À¯±âÀûÀ¸·Î ÇùÁ¶ÇØ ¹ÝµµÃ¼ Àü¹®Àη ¾ç¼º¿¡µµ Å©°Ô ±â¿©ÇØÁֱ⸦ ¹Ù¶õ´Ù"°í ´çºÎÇß´Ù.
Çù¾à¿¡ µû¸£¸é ½Ã´Â ASMLÄÚ¸®¾Æ°¡ ¿ø»ï¸é ¿ëÀιݵµÃ¼Å¬·¯½ºÅÍ Çù·ÂÈ´ÜÁö A6-3ºí·Ï 7577§³ ºÎÁö¿¡ »ç¹«¼Ò¸¦ ¼³Ä¡ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Àû±ØÀûÀÎ ÇàÁ¤ Áö¿øÀ» ÇÑ´Ù.
ÀÌ »ç¹«¼Ò´Â ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ °¡µ¿ÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ ±â¼úÁö¿ø ¹× À¯Áö¡¤º¸¼ö µîÀÇ ¾÷¹«¸¦ ¼öÇàÇÏ°Ô µÈ´Ù. ASMLÄÚ¸®¾Æ´Â »ç¹«¼Ò¿¡ ¿ëÀÎÁö¿ª ÀηÂÀÌ Ã¤¿ëµÇµµ·Ï ÇùÁ¶ÇÏ°í, ¿ëÀÎÁö¿ª ´ëÇаú ¿¬°èÇÑ »êÇп¬ ÇÁ·Î±×·¥ µîÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ÀÎÀçµµ ¾ç¼ºÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
¶Ç ¿ëÀιݵµÃ¼Å¬·¯½ºÅÍ ÀϹݻê¾÷´ÜÁö¿¡ ÀÔÁÖÇÏ´Â SKÇÏÀ̴нº¸¦ ºñ·ÔÇÑ ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ±â¾÷¿¡ ÷´Ü Àåºñ ¼º´É À¯Áö¸¦ À§ÇÑ ±â¼ú ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù.
³×´ú¶õµå¿¡ º»»ç¸¦ µÐ ASMLÀº Áö³ÇØ ¸ÅÃâ¾× ±âÁØ ¼¼°è 1À§ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¾÷ü´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ´Â ÀÌ È¸»ç°¡ µ¶º¸ÀûÀÌ´Ù.