이미지 크게보기 ‘계산전자공학 입문-반도체 공정’ 저자 홍성민 교수. GIST 제공

반도체 공정 시뮬레이션 기법 총망라


광주=김대우 기자



반도체 공정 기술이 빠르게 발전하는 가운데, 반도체 소자 제조 과정을 정확히 이해하는 데 필수적인 시뮬레이션 기법을 소개하는 책이 출간됐다.

광주과학기술원(GIST)은 전기전자컴퓨터공학과 홍성민 교수가 대학 출판부 ‘지스트 프레스(GIST PRESS)’를 통해 ‘계산전자공학 입문-반도체 공정’을 출간했다고 27일 밝혔다.

총 8장으로 구성된 이 책은 반도체 공정 시뮬레이션의 기본 개념부터 실제 CMOS 공정 응용까지 폭넓게 다룬다. 또 반도체 공정의 핵심 기술인 산화 공정, 확산 공정, 이온 주입 공정, 박막 증착 공정, 식각 공정 등의 원리를 설명하고 이를 컴퓨터 시뮬레이션을 활용하여 분석하는 방법을 제시한다.

특히 ‘몬테카를로(Monte Carlo) 기법’, ‘레벨세트(Level-set) 방법’ 등 최근 주목받고 있는 시뮬레이션 기법을 비롯해 실무에서 중요한 수치해석 기법을 상세히 소개한다. 책에 수록된 예제를 따라가며 반도체 공정 시뮬레이션 코드를 직접 작성할 수 있도록 구성한 점도 흥미롭다.

홍 교수는 "반도체 공정 시뮬레이션을 처음 접하는 학생은 물론 실무에서 상용 프로그램을 활용하는 엔지니어들에게 큰 도움이 될 것"이라고 말했다. 홍 교수는 서울대에서 전기컴퓨터공학 박사학위를 받은 후, 독일과 미국에서 연구 활동을 거쳐 현재 GIST 부교수로 재직 중이다.

주요 연구 분야는 반도체 공정 및 소자 시뮬레이션이며, 국제학술지 ‘IEEE Transactions on Electron Devices’의 부편집장(Associate Editor)으로 활동하고 있다.