¹®È­ÀϺ¸

µÚ·Î°¡±â
°Ë»ö/¸Þ´º
°Ë»ö
¸Þ´º
°æÁ¦

¡®7³ª³ë EUV¡¯ ¼¼°è ù ¾ç»ê¡¦ ¸Þ¸ð¸® ÀÌ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¿ÕÁ ³ë¸°´Ù

ÀÌÀºÁö ±âÀÚ
ÀÌÀºÁö ±âÀÚ
  • ÀÔ·Â 2019-12-18 14:57
´ñ±Û 0 ÆùÆ®

photoÀ̹ÌÁö Å©°Ôº¸±â »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼­ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ¡®ÃÊ°ÝÂ÷¡¯·Î 1À§ ±â¾÷ÀÎ ´ë¸¸ TSMC¸¦ ¸ÍÃß°ÝÇÏ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀΠŬ¸°·ë¿¡¼­ ¿¬±¸¿øµéÀÌ °øÁ¤À» »ìÇÇ´Â Àå¸é. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø


(2) »ï¼º, ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ ´Ù°¢È­

ÆÄ¿îµå¸® Æ÷ÇÔ ½Ã½ºÅۺоß
¹Ì·¡ ¸Ô°Å¸®·Î ÁýÁß À°¼º
1À§Þä TSMC ºü¸£°Ô Ãß°Ý

¿Ã 5³ª³ë ±â¼ú °³¹ß ¿Ï·á
7³ª³ë Á¦Ç° °ø±Þ º»°ÝÈ®´ë

È­¼º EUV°øÀå ÁØ°ø ´«¾Õ
¡°ÃÊ°ÝÂ÷ Àü·«À¸·Î 1À§ µµ¾à¡±


photoÀ̹ÌÁö Å©°Ôº¸±â

¡°¸Þ¸ð¸®(¹ÝµµÃ¼)¿¡ À̾, ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹ »ý»ê)¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼­µµ È®½ÇÈ÷ 1µîÀ» Çϵµ·Ï ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù. ±»Àº ÀÇÁö¿Í ¿­Á¤, ±×¸®°í ²ö±â¸¦ °®°í ²À Çس»°Ú½À´Ï´Ù.¡±(ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀå, Áö³­ 4¿ù 30ÀÏ ¡®½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ºñÀü ¼±Æ÷½Ä¡¯¿¡¼­)

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¸¦ Â÷¼¼´ë Áַ»ç¾÷À¸·Î Á¤ÇØ ½Å¼ºÀå µ¿·Â È®º¸¿¡ °­ÇÑ µå¶óÀ̺긦 °É°í ÀÖ´Ù. ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼¿¡ ÀÌ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¿¡¼­µµ ¡®ÃÊ°ÝÂ÷¡¯¸¦ ÅëÇØ ±Û·Î¹ú 1À§·Î µµ¾àÇÑ´Ù´Â Æ÷ºÎ´Ù.

¡Þ¸Þ¸ð¸® 1À§ ³Ñ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼µµ ±Û·Î¹ú ¼öÁØÀ¸·Î = 18ÀÏ °ü·Ã¾÷°è¿¡ µû¸£¸é, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ±Ù ½Å¼ºÀå µ¿·ÂÀ¸·Î Â÷¼¼´ë ±â¼úÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡¼­ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î 7³ª³ë EUV Á¦Ç°À» ³»³õÀº µ¥ À̾î 5³ª³ë, 3³ª³ë·Î À̾îÁö´Â Ãʹ̼¼°øÁ¤ ±â¼ú °æÀï·Â È®º¸¿¡ ³ª¼­°í ÀÖ´Ù. ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ 1À§¿¡ ¸Ó¹°Áö ¾Ê°í »õ·Î¿î ¹Ì·¡ ¸Ô°Å¸®·Î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¸¦ ³«Á¡, ÀÌ ¿ª½Ã ¼¼°è 1À§ ¼öÁØÀ¸·Î ²ø¾î¿Ã¸®±â À§ÇØ ¿¬±¸¡¤°³¹ß(R&D)¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³­ 4¿ù ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î 7³ª³ë EUV Á¦Ç°À» ÃâÇÏÇØ ´ç½Ã ½ÃÇè »ý»ê ÁßÀ̾ú´ø ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® 1À§ ´ë¸¸ ±â¾÷ÀÎ TSMC¸¦ ºü¸£°Ô Ãß°ÝÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù. ´ç½Ã ¾÷°è¿¡¼­´Â ¡°»ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÃÊ°ÝÂ÷ ±â¼ú·ÂÀÌ ¸Þ¸ð¸®¸¦ ³Ñ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¸¦ »ý»êÇÏ´Â ÆÄ¿îµå¸®¿¡¼­µµ ¹ßÈֵƴ١±´Â Æò°¡°¡ ³ª¿Ô´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼°¡ ¹Ì·¡¸¦ À̲ø¾î°¥ ½Å»ê¾÷ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ÆÇ´Ü, ÀÏÂġ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ ´Ù°¢È­¿¡ ³ª¼¹´Ù. ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼¿¡ ÆíÁßµÈ »ê¾÷ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¿¡¼­ ¹þ¾î³ª ¹Ì·¡ ¸Ô°Å¸®·Î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ê¾÷À» À°¼ºÇÏ°Ú´Ù´Â °èȹ¿¡ Âø¼öÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2017³â 5¿ù ÆÄ¿îµå¸®ÆÀÀ» »ç¾÷ºÎ·Î ½Â°ÝÇØ ¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê¿¡ º»°ÝÀûÀ¸·Î µµÀüÇß´Ù. ±× ù ½ÃÇè ¹«´ë·Î 2017³â ÃʺÎÅÍ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í TSMC ¸ðµÎ EUV¸¦ È°¿ëÇÑ 7³ª³ë °øÁ¤ °³¹ß °èȹÀ» ¹àÈ÷¸ç ¹Ì¼¼°øÁ¤ °³¹ß °æÀïÀÌ º»°ÝÈ­µÆ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2018³â 2¿ù Ä÷ÄÄ°ú 7³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® Çù·Â È®´ë¸¦ °ø½Ä ¹ßÇ¥, ±×ÇØ 10¿ù ¡®»ï¼ºÅ×Å©µ¥ÀÌ 2018¡¯¿¡¼­ EUV ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ ÆÄ¿îµå¸® 7³ª³ë °øÁ¤(7LPP) °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇÏ°í »ý»ê¿¡ Âø¼öÇß´Ù°í ¹àÈ÷¸é¼­ ¾÷°è¸¦ ³î¶ó°Ô Çß´Ù.

ÀÌ·Î½á »ï¼ºÀüÀÚ´Â 7³ª³ë ÀÌÇÏ ¹Ì¼¼°øÁ¤ °³¹ß °æÀï¿¡¼­ TSMC¿Í ¾çÀÚ±¸µµ¸¦ ¸¸µå´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. ¾÷°è¿¡¼­´Â EUV¸¦ Àû¿ëÇÑ 7³ª³ë Á¦Ç°ÀÇ ½ÇÁ¦ Ãâ½Ã ½Ã±â¿Í ¹æ½Ä µî¿¡ Å« °ü½ÉÀ» º¸¿´´Ù. ¶Ç »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ºñ¾àÀûÀÎ ¼ºÀå¿¡ ÁÖ¸ñÇß´Ù. ±× °úÁ¤¿¡¼­ »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³, ¸ÖƼÇÁ·ÎÁ§Æ®¿þÀÌÆÛ(MPW) Áö¿ø È®´ë, ÆÄ¿îµå¸® ¿¡ÄڽýºÅÛ ÇÁ·Î±×·¥ÀÎ ¡®¼¼ÀÌÇÁ¡¯(SAFE¡¤Samsung Advanced Foundry Ecosystem) °­È­ µîÀ» ÅëÇØ ²ÙÁØÈ÷ °í°´»ç¸¦ ´Ã·È´Ù. ±âÁ¸ ¸ñÇ¥´ë·Î ¾à 100¾ï ´Þ·¯ÀÇ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã¸®¸ç 2018³â ¾÷°è 2À§¸¦ ´Þ¼ºÇÏ´Â °á½ÇÀ» º¸¾Ò´Ù.

photoÀ̹ÌÁö Å©°Ôº¸±â


¡Þ3³ª³ë±îÁö À̾îÁö´Â Ãʹ̼¼°øÁ¤ ÁÖµµ±Ç Áå´Ù = »ï¼ºÀüÀÚ°¡ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ÀÇ ÁÖµµ±ÇÀ» Áã°Ô µÇ¸é¼­, »ó´ëÀûÀ¸·Î Ãë¾àÇÑ ±¹³» ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀå °¡´É¼ºÀ» È®ÀÎ, ±¹³» ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ýÅ°è±îÁö °­È­ÇÏ´Â °á°ú¸¦ ²ø¾î³Â´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ½Ã½ºÅÛ LSI »ç¾÷ºÎ°¡ ¼³°èÇØ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎ°¡ À§Å¹ÇÏ´Â »ý»ê ±¸Á¶¸¦ °®´Âµ¥, ±¹³» ÆÕ¸®½º ¾÷üµé ¿ª½Ã »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Ãʹ̼¼°øÁ¤ Á¦Ç°À» »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù. ƯÈ÷, 5¼¼´ë(G), ÀΰøÁö´É(AI), »ç¹°ÀÎÅͳÝ(IoT), ÀÚÀ²ÁÖÇàÀ¸·Î ´ëÇ¥µÇ´Â 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í ½Ã´ë¸¦ ¸Â¾Æ ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú·ÂÀÇ ¹ßÀüÀº ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ê¾÷À» À°¼ºÇØ ³ª°¥ ¼ö ÀÖ´Â Åä´ë·Î È°¿ëµÈ´Ù´Â Á¡¿¡¼­ Àǹ̰¡ Å©´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ 4¿ù ¡®ÃÖ÷´Ü 5³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ °³¹ß¡¯À» ¼±¾ðÇϸ鼭 4¿ù ¾ÈÀ¸·Î 7³ª³ë Á¦Ç°À» ÃâÇÏÇÏ°Ú´Ù°í ¹àÈù µÚ 30ÀÏ 7³ª³ë Á¦Ç° ÃâÇϸ¦ ½ÃÀÛÇß´Ù. ¾÷°è ÃÖÃÊ EUV¸¦ È°¿ëÇÑ 7³ª³ë Á¦Ç° ÃâÇÏ·Î EUV¸¦ È°¿ëÇÑ °øÁ¤ÀÌ ¾ÈÁ¤´Ü°è¿¡ Á¢¾îµé¾ú´Ù´Â °ÍÀ» Áõ¸íÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ·Î½á »ï¼ºÀüÀÚ´Â 7³ª³ë ÀÌÈÄ 3³ª³ë µî Â÷¼¼´ë Ãʹ̼¼°øÁ¤¿¡¼­µµ ¿ìÀ§ÀÇ °æÀï·ÂÀ» È®º¸ÇÏ°Ô µÆ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ±Ù 3ºÐ±â ½ÇÀû¹ßÇ¥ ÈÄ ÄÜÆÛ·±½ºÄÝ¿¡¼­ ¡°7³ª³ë EUV´Â 1ºÐ±â¿¡ ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ ÀÌÈÄ ¾ÈÁ¤Àû ¼öÀ²À» ±â·ÏÇÏ°í ÀÖ¾î ¿¹Á¤´ë·Î 4ºÐ±â¿¡ °í°´À» ½Å±ÔÃß°¡Çؼ­ °ø±ÞÀ» È®´ëÇÒ ¿¹Á¤¡±À̶ó¸ç ¡°7³ª³ë EUV·Î »ý»êµÇ´Â 5G °ü·Ã ĨÀÇ ¼ö¿ä°¡ Å« ÆøÀ¸·Î ¿Ã¶ó ´ç»ç ¸ÅÃâÁõ°¡¿¡ Å©°Ô ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿¬³» 6³ª³ë Á¦Ç° »ý»ê °èȹÀ» ¹àÇûÀ¸¸ç, ±â¼ú °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇÑ 5³ª³ëºÎÅÍ ·Îµå¸ÊÀ» ¹àÈù 3³ª³ë±îÁö Ãʹ̼¼°øÁ¤¿¡¼­ÀÇ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» ²ÙÁØÈ÷ À¯ÁöÇÒ °èȹÀÌ´Ù. EUV °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ½Ã¼³ÀÌ µÉ °æ±â È­¼º EUV ¶óÀεµ ³»³â »ó¹Ý±â º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»ê¿¡ µé¾î°£´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â ¡°Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡ ÀÖ¾î 7³ª³ë EUVÀÇ ¼º°øÀº ±× µÚ·Î À̾îÁö´Â 5³ª³ë, 3³ª³ë ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÇ ±â¼ú °æÀï·Â ¹× ÁÖµµ±Ç È®º¸ Ãø¸é¿¡¼­µµ À¯¸®ÇÑ °íÁö¸¦ Á¡Çß´Ù´Â Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.

ÀÌÀºÁö ±âÀÚ eun@munhwa.com

£¯ Á¦ÀÛÈÄ¿ø£¯
»ï¼ºÀüÀÚ, Çö´ëÀÚµ¿Â÷±×·ì, SK, LG, ·Ôµ¥, ÇÑÈ­, À̸¶Æ®, ÇÑÁø, CJ, ±ÝÈ£¾Æ½Ã¾Æ³ª, ³×À̹ö

ÀÌ ±â»ç¸¦ Ä£±¸µé°ú °øÀ¯ÇØ º¸¼¼¿ä.

°ü·Ã±â»ç
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
¾È³» ¹öÆ°

ÃÖ±Ù 12½Ã°£³»
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º

¹®È­ÀϺ¸ ÁÖ¿ä´º½º
ÀÌ ³²ÀÚ°¡ Äڷγª Áö¿ø±Ý ¡®31¾ï¡¯ ¹ÞÀº ºñ°á
ÀÌ ³²ÀÚ°¡ Äڷγª Áö¿ø±Ý ¡®31¾ï¡¯ ¹ÞÀº ºñ°á Áö³­ 2021³â Äڷγª19°¡ È®»êµÇ´ø ½Ã±â¿¡ Á¤ºÎÀÇ Äڷγª Áö¿ø±ÝÀ» Á¶Á÷ÀûÀ¸·Î ÇãÀ§ ¼ö·ÉÇÑ 40´ë ³²¼ºÀÌ Â¡¿ªÇüÀ» ¼±°í¹Þ¾Ò´Ù. ƯÈ÷ ÀÌ ³²¼ºÀº À¯·É ȸ»ç¸¦ ¼³¸³ÇØ °¢Á¾ ÀÏÀÚ¸® º¸Á¶±ÝÀ» Ÿ³»´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ¹«·Á 31¾ï ¿øÀ» °¡·Îë´Ù. ´ç½Ã Á¤ºÎÀÇ Äڷγª Áö¿ø±Ý Áö±Þ ´ë»ó ¼±Á¤ ±âÁØÀÌ ±×¸¸Å­ Çã¼úÇß´Ù´Â ÁöÀûµµ Á¦±âµÈ´Ù.8ÀÏ ¹ýÁ¶°è¿¡ µû¸£¸é ±¤ÁÖÁö¹ý Çü»ç3´Üµ¶ ¹ÚÇö ºÎÀåÆÇ»ç´Â º¸Á¶±Ý°ü¸®¿¡°üÇѹý·üÀ§¹Ý µî ÇøÀÇ·Î ÀçÆÇ¿¡ ³Ñ°ÜÁø A(43) ¾¾¿¡°Ô ¡¿ª 7³âÀ» ¼±°íÇß´Ù.A ¾¾´Â 2021³â À¯·Éȸ»ç¸¦ ¼³¸³ÇØ °¡Â¥·Î Á÷¿øÀ» ä¿ëÇÏ´Â °Íó·³ ²Ù¹Ì´Â ¼ö¹ý µîÀ¸·Î 31¾ï¿ø »ó´çÀÇ °¢Á¾ ÀÏÀÚ¸® º¸Á¶±ÝÀ» ¹Þ¾Æ °¡·Îæ ÇøÀÇ·Î ±â¼ÒµÆ´Ù. Á¤ºÎ°¡ Äڷγª19 ½Ã±â °í¿ë³­À» ÇؼÒÇϱâ À§ÇØ ÁøÇàÇÑ °¢Á¾ ÀÏÀÚ¸® º¸Á¶±Ý »ç¾÷À» ¾Ç¿ëÇÑ ¼ÀÀÌ´Ù.ƯÈ÷ A ¾¾´Â °ø¹ü 2¸í°ú ÇÔ²² À¯·Éȸ»ç 2°÷À» ¼³¸³ÇØ ÇãÀ§·Î Á÷¿øÀ» °í¿ëÇÑ °Íó·³ ²Ù¸ç û³âµðÁöÅÐÀÏÀÚ¸®Áö¿ø±Ý°ú Ưº°°í¿ëÃËÁøÀå·Á±Ý µî ¾à 2¾ï7000¸¸ ¿øÀ» ¹Þ¾Ò´Ù. ¶Ç ÇʶóÅ×½º¾÷ü ¿î¿µÀÚ µî ¿©·¯ »ç¾÷ÀÚ¿Í °áŹÇØ Á÷¿øÀ» °í¿ëÇÑ °Íó·³ ²Ù¸ç û³âÀÏÀÚ¸®µµ¾àÀå·Á±Ý µî º¸Á¶±Ý 10¾ï¿© ¿ø »ó´çÀ» ì±â±âµµ Çß´Ù.°ø¹üµéÀº À̵鿡°Ô ´ë°¡¸¦ ¹Þ°í °¡Â¥ Á÷¿ø ¸íÀǸ¦ ºô·ÁÁáÀ¸¸ç ³ªÁß¿¡ À¯·É ¾÷ü³ª º¸Á¶±Ý ¼ö·É¾÷ü¿¡¼­ Åð»çÇß´Ù°í ¼Ó¿©, 1¾ï4000¿©¸¸ ¿ø »ó´çÀÇ ½Ç¾÷±Þ¿©¸¦ Ÿ³»±âµµ Çß´Ù. A ¾¾´Â ÀÌ °úÁ¤¿¡¼­ °¢Á¾ ÀÏÀÚ¸® Áö¿øº¸Á¶±Ý ½ÅûÀ» ´ëÇàÇÏ¸ç ¼ö¼ö·á¸¦ ¹Þ¾Æ °øÀγ빫»ç¹ý À§¹Ý ÇøÀǵµ ¹Þ¾Ò´Ù.¹ý¿øÀº ¡°A ¾¾ÀÇ º¸Á¶±Ý ÆíÃë ¹üÇàÀÌ °èȹÀûÀÌ°í Á¶Á÷ÀûÀ̾ú°í ºÎÁ¤¼ö±Þ ¾×¼ö°¡ 31¾ï ¿ø »ó´çÀ¸·Î ¸Å¿ì Å©´Ù¡±¸ç ¡°ÇÇÇØ ±Ý¾× ´ëºÎºÐÀÌ È¯¼öµÇÁö ¾Ê¾Æ ÁßÇüÀ» ¼±°íÇÑ´Ù¡±°í ÆǽÃÇß´Ù.ÀÓÁ¤È¯ ±â
±â»ç ´ñ±Û

º»¹® ±ÛÀÚ Å©±â¸¦ Á¶ÀýÇϼ¼¿ä!

¡Ø ¾Æ·¡ ±ÛÀÚ Å©±â ¿¹½Ã¹®À» È®ÀÎÇϼ¼¿ä.

´ëÇѹα¹ ¿ÀÈĸ¦ ¿©´Â À¯Àϼ®°£ ¹®È­ÀϺ¸. º»Àο¡ ¾Ë¸ÂÀº ±ÛÀÚ Å©±â¸¦ ¼³Á¤Çϼ¼¿ä.

´Ý±â
ÁÁÀº ±â»ç´Â Ä£±¸µé°ú °øÀ¯Çϼ¼¿ä!
´Ý±â